檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "Thin film".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="趙振綱"
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熱電薄膜發電器乃利用熱電效應,將溫度差轉為電能輸出。熱電薄膜發電器主要用微機電製程,利用熱蒸鍍沉積熱電薄膜並以濺鍍沉積鋁橋。量測方式以溫控式加熱器給予熱源,經由Agilent 34970A資料蒐集交…
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焦電薄膜感測器乃利用焦電效應,將溫度變化轉為焦電訊號。焦電感測器之焦電響應為感測器優劣之重要指標,其中影響焦電響應主要因素為焦電薄膜品質,而薄膜品質與薄膜之表面形貌、晶格結構及殘留應力等息息相關。本…