簡易檢索 / 檢索結果

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    沉積鈦薄膜於不同基材上之熱應力分析

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    碲化鉍合金熱電薄膜發電器之設計與製造
    • 機械工程系 /97/ 碩士
    • 研究生: 吳奕諼 指導教授: 趙振綱
    • 熱電薄膜發電器乃利用熱電效應,將溫度差轉為電能輸出。熱電薄膜發電器主要用微機電製程,利用熱蒸鍍沉積熱電薄膜並以濺鍍沉積鋁橋。量測方式以溫控式加熱器給予熱源,經由Agilent 34970A資料蒐集交…
    • 點閱:221下載:16

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    多層薄膜氧化鋅焦電感測器之殘留應力分析
    • 機械工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 王星強 指導教授: 趙振綱
    • 焦電薄膜感測器乃利用焦電效應,將溫度變化轉為焦電訊號。焦電感測器之焦電響應為感測器優劣之重要指標,其中影響焦電響應主要因素為焦電薄膜品質,而薄膜品質與薄膜之表面形貌、晶格結構及殘留應力等息息相關。本…
    • 點閱:212下載:14
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